Page 106 - 涂料工业2024年第04期电子刊
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ArF


                                                                             $'            $'       X
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                                                   图6 基于 FA基 的 合物
     康
     探 工 工 应 科                                   Fi . 6  olymer  a ed on  FA  roup
     ·
     学
     艺
     索
     用                                              X             (FN)  ,   9   ,
     艺
     安
     全                              0  X  0  0  X  0  0  0          85     99 ,     60     77 ,
     开 技 技 研 视
                                                                     70     92 ,
     ·           (nm   -1 )                /)  0   /)  0
     发 术 术 究 点                     '   $   0     $'    0     $'    (380 nm  ),
     环                                )0    $'
     境                                                                 $'       X        '$       X        Y
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                                                                      ' $    $'         ' $    $'        $'
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             图7  FA和FSA基 基    均 物在 2. 38   基                           图9  合物F G 和FN  制备 部涂
                化 ( MA )   中的    和     关系                             Fi . 9  opcoat  a ed on  lend o  F G  and FN
             Fi . 7 Di  olution rate in 2. 38   MA  de eloper a  a  unction
                                                                     Sander        Graded topcoat
                                                                               33
                   o    tatic  water  contact  an le   or  a   ariety  o    FA-  and
                                                                            ,
                   FSA- a ed methacrylate homopolymer
                                                                 ,    raded topcoat ,   10   ,
                    X     Y                             Y         topcoat     ,       topcoat
                                      X
                                                X
                0   0  0  0                                     Graded topcoat          (
                   ' $   $'                         0           70. 2 ),          (160 nm  )

                  /)              )/         )/        0
               0     0           0     0   0     0              2  添加剂
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             1 ' "." )'*1."   1 /# ' "."   1 /#' "." /#                        (
                      图8 含FSA基 的 部涂  合物                          )     ,         topcoat- ree(
                    Fi . 8  opcoat material   a ed on FSA  roup
                                                                       )
               ,-4- 3,3,3-   2-   2-       -                                   ArF
                                                                   34
             1. 6,    (F G )   1,1,2-  ,-4- 3,3,3-               ,                    ,
                2-   2-       -1. 6,    -co-2-
                          3
                   1,,,,,,,-     2. 2. 1  -2-                   EB (em edded  arrier layer )   SA(water  heddin
                                  6
                                    7
                                      7
                            3
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