Page 105 - 涂料工业2024年第04期电子刊
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B
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ArF
S
B
（a）—y 8 （ ）—2 y 6
X
（c）—y 2 （d）— 合物 FA结构式
图5 合物 FA 的
Fi . 5 Model or water repellency o FA thin ilm
表1 不同氟醇单体对应聚合物在四甲基氢氧化铵（TMAH）显影液中的碱溶速率
Table 1 Dissolution rates of HFA based homopolymers in TMAH developer 健
Poly Poly Poly Poly Poly 康
科
应
探
工
名称
（NB-HFA） （NB-HFA-MA） (IP-HFA-MA) (NB-IP-HFA-MA) (NB-C6HFA-MA) ·
用
索
艺
学
安
X
X
全
视
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X
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究
点
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环
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（nm ） 980 0. 4 23 51 180
-1
180 nm ，
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0
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FA 0 （3）
$'
，Sander
25
， FA ， Sander ，FSA
31
（3） ， ，
26
， （ 7 2） FSA
， ， ， ， ，
， ， FA （ 7 3）
， ， FSA
， 6 14，25，27-30 ，
1. 2. 3 氟磺酰胺碱溶 ， 8
32
（FSA） FA ， 1. 2. 4 共混型顶部涂层
FSA 2
FA ， a e e 1，1，2-
28
77
