Page 104 - 涂料工业2024年第04期电子刊
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ArF

                                                                1. 2. 1  羧基碱溶
                                13
                                                                                    ,   (
                                                                     3~6)
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                                                                               14
                                                                 ,   4              ,

                                                                  (RCA)  ,
                                                 $' $'
                  ' $   $'             $'

                                 $'                                     ,    ,
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                                                                 ,
                          图3  性基 的化学结构                              (DBARC)      ,   DBARC
                                                                      15
                     Fi . 3 Chemical  tructure o  acidic  roup             ,
                                                                                                       Y
                                         Y                      Y          Z
                              X                        X                 0                    X 0      0
     健                   )0   0     0  0                   )0   0     0           ' $  $'   $)   0 )0
     康               ' $  $'   $)                                      $'



     探 工 工 应 科                                                     ' $

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     艺
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     学                                        图4 基于 基的  性 部涂  合物
     用
     艺
     安
                                       Fi . 4 Al aline  olu le topcoat polymer  a ed on car o ylic acid
     全            ata
     开 技 技 研 视
                         13
     ·
     发 术 术 究 点             ,   ( EB)   ,                         ,
     环                      ,                                    onda                ( FA)
                                                                       18
     境                      ,                                            (   y)      y 8 ,
                        , ata     ,                                           ,
                    (1)   ,                                          y 6 ,               ,
                                                                           ,
                    ,                                              ,         ,        ,
                                                                  5
                                   X        Y
                                   0         0                  1. 2. 2  氟醇碱溶

                                                        (1)
                                      0   0
                                                                          ( FA)            ,
                               ,                                         ,     (      9~
                                                                                                  19
                          S7399581 B2                           11),                FA
                                                                                                              20
                                                                         ,    193 nm
              ,              ata                                 FA
                                                   17
                                         16
                    (2)         ,                                           21-22  ,        EB
                102 ,        90                                    ( ER)  FA            ,
                     ,           ,                                   ( AG)      ,
                                                                   23
                     ,                                            ,             FA
                      ,
               ,           ,                                          FA
                                                                                                           24
                                                                              ,Varana i
                        8
                                                                         (  1)     ,
                                           X      Y                       ,    ,
                       $)     0

                       $)     0        0   0  )0  0              (  0. 4 nm       23 nm  )

                       $)     0                         (2)
                                                                 FA            ,      51 nm
                76
   99   100   101   102   103   104   105   106   107   108   109