Page 103 - 涂料工业2024年第04期电子刊

ArF

，
，

G （436 nm） （365 nm） rF（248 nm） ArF ArFi
（193 nm） E V（13. 5 nm） ， （a）— 形成及 的
， ，
1
，ArF

， ， 45~
7 nm ArF ArF ， （ ）— 形成及 的
（ 图2 没式光 存在的
1. 44）， （NA）， Fi . 2 De ect in immer ion litho raphy
（134 nm）， （2） 健
， ， 康
2
科
应
探
， 工
·
1 ， 艺
3
用
索
学
（ ， 2 （topcoat 安
技
视
研
开
）， ， ） 全
4
·
术
发
点
究
1 顶部涂层 环
， ，
， ， （topcoat） 境
5
， ArF ，
， ，
opcoat
8

，

9-10

，

（ ）

（T） ，

图1 没式光 过程中光 、 涂 和 之 的相 作用
11
1. 1 有机溶剂显影的顶部涂层
Fi . 1 nteraction o photore i t，topcoat and water durin
immer ion litho raphy
，
700 mm ，
，
， 2 ，
（ACA） ， 1，11 ，
， ， ， ，
， （RCA） ， 1. 2 碱溶性顶部涂层
， （ MA ）
6
ACA RCA， RCA ， ，
70 ，
7
ArF （1） （ 3 ， R
12
（topcoat） ， ， ）， ，
75