Page 102 - 涂料工业2024年第04期电子刊

54 4 Vol. 54 No. 4
2024 4 ArF Fe . 2024
A N C A NGS ND S R

ArF浸没式光刻胶用抗水涂层研究进展

郑祥飞 ，徐 亮 ，陈 侃 ，刘敬成 ，张家龙 ，陈韦帆 1
1
2
3
1
1
（1. 瑞红（苏州）电子化学品股份有限公司，江苏苏州215124；2. 江南大学化学与材料工
程学院，江苏无锡214122；3. 中石化（上海）石油化工研究院有限公司，上海201208）
摘 要：氟化氩（ArF）浸没式光刻需在光刻胶表面形成抗水涂层，阻挡光刻胶和水之间组分交
换。抗水涂层对光刻胶的分辨率、工艺窗口、低缺陷要求起着重要作用，平衡抗水涂层的疏水性和碱
溶性是设计聚合物结构的重点和难点。分析了形成抗水涂层的方法和成膜机理，对比了不同方法的
优缺点，根据聚合物所含官能团及其碱溶性，对抗水涂层聚合物进行了分类总结，重点阐述抗水涂层
聚合物的结构和性能要求，尤其关注了聚合物侧链的位阻效应和氢键作用对涂层的疏水性影响。最
健
后对抗水涂层的应用和发展进行了展望。
康 关键词：ArF浸没式光刻；抗水涂层；疏水和碱溶性；聚合物结构
探 工 工 应 科
· 中图分类号 635. 9 文献标志码：A 文章编号：0253-4312（2024）04-0074-08
用
学 doi 10. 12020 . i n. 0253-4312. 2023-215
索
艺
艺
安
全 Research and Development of Anti-water Coating in ArF
开 技 技 研 视
·
发 术 术 究 点 Immersion Photoresist
环
境 hen ian ei ， u ian ，Chen an ， iu in chen ， han ialon ，Chen ei an 1
1
1
1
2
3
（1. Rui Hong（Suzhou）Electronic Chemicals Co Ltd Suzhou，iangsu 215124，China 2. School of Chemical
J

and Material Engineering，iangnan University，Wuxi，iangsu 214122，China 3. Shanghai Research Institute
J
J
of Petrochemical Technology，SINOPEC，Shanghai 201208，China）
Abstract： t wa nece ary to orm anti-water coatin on the ur ace o photore i t to
pre ent the interaction etween photore i t and water in ArF immer ion litho raphy. Anti-
water coatin played an important role in re olution，proce window，and de ect o
photore i t. And alancin the hydropho ic and al aline olu ility o anti-water coatin wa
t
the ey and di icult point in the de i nin o polymer tructure. n thi re iew，he method
and mechani m o anti-water coatin ormation were analy ed，the ad anta e and
di ad anta e etween di erent method were compared. And the anti-water coatin polymer
were cate ori ed and ummari ed a ed on their unctional roup and al aline olu ility. he
tructure and per ormance o anti-water coatin polymer were ocu ed，e pecially the e ect
t
o teric and hydro en ondin on hydropho icity o coatin were hi hli hted. Finally，he
application and de elopment pro pect were rie ly di cu ed.
Key words：ArF immer ion litho raphy anti-water coatin hydropho ic and al aline
olu ility polymer tructure

基金项目 科技 人 计 项目（ C202252）
作者简 ： （1989—）， ， ，主要从 光 及其相关 料的研究方向。
通信作者： （1979—）， ， ，中级 称， 经理，主要从 体用精细电子化学品 料的研究方向。
本文规范引用格式：
， ， ，等. ArF 没式光 用 涂 研究进 . 涂料工业，2024，54（4）：74-81.
ENG F， ，C EN ，t al. Re earch and de elopment o anti-water coatin in ArF immer ion re i t . aint Coatin ndu try，2024，54（4）：
e
74-81.

74