Page 74 - 涂料工业2024年第04期电子刊

i -Si ， i Si
2 2
1 1 i -Si ，
2 2
i Si 1 2 i -Si
2 2
， ， ，
40 m 40 m
， i Si
（a）— 光0 min （ ）— 光5 min 1 1
，
i -Si
2 2

4
40 m 40 m ， i ， i 4

（c）— 光10 min （d）— 光15 min
4
图3 不同 光时 下 i 经 后的 照片 i （ ）
2
Fi . 3 Microphoto o i el ilm a ter ethanol de elopment ， i -Si
2 2 2
探 工 工 under di erent e po ure duration ， ，
艺
艺 ， ，
索
， ，Si ， i 4
2
开 技 技 2. 2 TiO -SiO 溶胶感光机理分析 （2）
2
2
发 术 术 4 i Si i -Si ， i -Si ， i 4
2
2
2
2
，
（C ）Si ， Si
2 5 4
， ， Si i
， ，
，
40 m 40 m 40 m
i -Si ，
2 2
（a）—2 1 （ ）—1 1 （c）—1 2 ， 400

图4 不同 i Si 原子 的复合 i -Si 经 20 min 光
2 2 ， ，
并 的 照片
， 2. 3
Fi . 4 Micro copic photo o i -Si el ilm with di erent
2 2
i Si atomic ratio a ter ethanol de elopment under 2. 3 TiO -SiO 点阵涂层微观组织结构
2
2
20 min e po ure 2. 3. 1 晶体结构分析
i -Si 5（a） RD 25. 45
2 2
20 min 4 ， i Si 2 1 37. 90 48. 16 55. 07

0 '
cp 10 4 5

5 0 1 ' 5

$ '

2θ （ ） 结合 eV

（a）— RD （ ）—EDS
图5 点 涂 的 RD和EDS图
Fi . 5 RD pattern and EDS pectrum o array
50